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专业科研实验室

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姓名:窦银萍

出生年月:19877

学历学位:研究生/博士

所属学院:物理学院

职称:副教授

邮箱:douyinping@cust.edu.cn

指导研究生所属学科及导师类别:物理学:硕士生导师

研究方向:极紫外光刻光源关键技术研究

窦银萍,硕士生导师,2016年长春理工大学光学专业博士毕业后留校任教。主要从事用于制造高端芯片的激光等离子体极紫外光刻光源关键技术方面研究,在较有国际影响SCI刊物上发表学术论文十余篇,EI论文2篇,出版专著1部。授权国家发明专利2项。主持国家自然科学基金青年项目1项,省部级等科研项目4项,省高教科研课题1项。参与科技部国家重点研发计划、国家外专局Ƙ项目及国家自然科学基金面上项目等多项。


教育经历

200609-201006月,长春理工大学大学,理学院,光电子技术科学专业,理学学士

201009-201604月,长春理工大学大学,理学院,光学专业,理学博士(硕博连读)

20169-至今,长春理工大学大学,物理学院,讲师


研究领域

极紫外光刻光源关键技术研究。


课程教学

1.本科生基础专业课《物理光学》,课内实验课《菲涅尔透镜》、《偏振晶体》,本科实验课《激光焊机》、《激光切割》。

2.研究生基础课《超快光学原理》。


专著

[1] 《激光等离子体极紫外光刻光源》,国防工业出版社,20181月,排名1/3。


学术论文

[1]窦银萍, 孙长凯, 林景全. 激光等离子体极紫外光刻光源[J]. 中国光学, 2013, 6(1):14.

[2]窦银萍,孙长凯,刘超智,高健,郝作强,林景全.Mitigation of energetic ion debris from Gd plasma using dual laser pulses and the combined effect with ambient gas[J].Chinese Physics B,2014,23(07):513-517.

[3]窦银萍,谢卓,宋晓林,田勇,林景全.Gd靶激光等离子体6.7nm光源的实验研究[J].物理学报,2015,64(23):212-219.

[4]谢卓,温智琳,司明奇,窦银萍,宋晓伟,林景全.双激光脉冲打靶形成Gd等离子体的极紫外光谱辐射[J].物理学报,2022,71(03):213-220.

[5]谢卓,王海建,窦银萍,宋晓伟,林景全.Bi靶激光等离子体极紫外光源以及碎屑辐射特性研究[J].光谱学与光谱分析,2022,42(07):2056-2062.

[6]司明奇,温智琳,张齐进,窦银萍,李博超,宋晓伟,谢卓,林景全.低密度SnO_2靶激光等离子体极紫外光及离带热辐射[J].物理学报,2023,72(06):274-281.

[7]刘超智,窦银萍,张龙,孙长凯,郝作强,林景全.双脉冲激光锡等离子体光源的碎屑动力学研究[J].光谱学与光谱分析,2015,35(01):44-47.

[8]宋晓林,宋晓伟,窦银萍,田勇,谢卓,高勋,林景全.Gd靶激光等离子体光源离带辐射及其等离子体演化的研究[J].光谱学与光谱分析,2016,36(10):3114-3118.

[9]Yong T , Song X , Zhuo X , et al. Sharpening of the 6.8 nm peak in an Nd:YAG laser produced Gd plasma by using a pre-formed plasma[J]. Aip Advances, 2016, 6(3):1467.

[10]李镇广,窦银萍,谢卓,王海建,宋晓伟,林景全.结构锡靶激光等离子体极紫外光辐射特性研究[J].中国激光,2021,48(16):49-55.

[11]Lang P , Song X , Ji B , et al. Spatial- and energy-resolved photoemission electron from plasmonic nanoparticles in multiphoton regime[J]. Optics Express, 2019, 27(5):6878.

[12]Lang P , Ji B , Song X , et al. Ultrafast switching of photoemission electron through quantum pathways interference in metallic nanostructure[J]. Optics letters, 2018, 43(23):5721-5724.

[13]石啸松,廉帅,窦银萍,高勋,林景全.入射角度对激光诱导水等离子体声信号特性的影响[J].中国激光,2020,47(06):301-305.


授权发明专利

[1] 一种利用玻璃掺杂钆靶获得高光谱纯度极紫外光源的方法,2018-7-20,专利号:ZL201510141270.9,排名:3/3.

[2] 一种采用飞秒激光加工多种纳米图案的方法,2021-11-19,专利号:ZL201911189281.9,排名:2/4.

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