个人简介

姓名：宋晓伟

出生年月：1968年10月

学历学位：研究生/博士

职称：教授

所属学院：物理学院

所属学科：电子科学与技术

联系电话：0431-85582496

电子邮件：songxiaowei@cust.edu.cn

指导研究生所属学科及导师类别：电子科学与技术（博士）、电子科学与技术（纳米操纵与制造）（硕士）、集成电路工程（硕士）  

研究领域：极紫外光刻关键技术、后摩尔时代芯片技术

曾在日本和德国工作、访问和学习。现主要开展极紫外光刻关键技术、后摩尔时代光子芯片技术等科研工作。近年来，主持或作为核心成员参与国家科技部973项目课题、国家自然科学基金以及省部级科研项目等30余项，在国内外重要期刊发表学术论文30余篇，出版学术专著2部。

教育经历

1987年9月至1991年7月，长春光学精密机械学院，理学学士

1993年9月至1996年4月，中科院长春光机所应用光学国家重点实验室，光学硕士

2010年9月至 2014年6月，长春理工大学，理学博士

工作经历

1991年7月-现在，长春理工大学，教师

2003年3月-2004年6月 日本筑波大学物理系半导体研究室，助理研究员

2004年7月-2005年3月，日本独立行政法人产业技术综合研究所金刚石研究中心，助理研究员

代表性科研项目

作为项目负责人及核心成员参加国家重点研究计划课题、国家自然科学基金重大研究计划、国家自然基金面上项目、军口项目等30余项。

近年来，作为课题组长主持的主要项目如下：

1.国家自然科学基金面上项目  基于PEEM技术的受控飞秒传输表面等离激元高时空分辨成像研究  2023/12-2027/12

2.科技部国际合作项目 激光雷达双频计量、空气导航及其系统  2019/01-2020/12

3.装备预研与国防基础科研项目 KYC-JH-XM-2018-026   2018/1-2021/1

4.吉林省科技厅国际合作项目 高端芯片制造中反射式光刻掩模缺陷识别与补偿技术研究  2021/07-2024/06

5.吉林省教育厅 基于纳米结构的超快等离激元近场操控研  2018/01-2019/12

6.重庆市科技局自然基金  极紫外光刻掩模白板缺陷的光电子显微成像检测技术研究  2023/07-2026/06

作为核心成员参加的主要项目如下：

1.国家自然科学基金委联合基金重点项目， 极紫外光刻掩模缺陷检测与补偿技术的研究 2023/01-2026/12

2.国家自然科学基金面上项目，基于等离激元纳米结构的光辐射超短电子脉冲产生及控制，2018/1-2021/12

3.国家自然科学基金面上项目，极小时空尺度等离激元场相干控制研究，2015/1-2018/12

代表性论文

近年来，以第一作者或通讯作者身份在国内外重要学术期刊发表SCI学术论文30余篇，以下为代表性论文：

[1]  Investigation of a dual-hole structure-based broadband femtosecond nondiffracting SPP beam emitter by photoemission electron microscopy[J]. Optics & Laser Technology, 2022, 146: 107538.

[2]  Ultrafast spatiotemporal control of directional launching of surface plasmon polaritons in a plasmonic nano coupler [J]，PHOTONICS Research，2021, 9(4): 514-520

[3]  Controlling the dynamics of the plasmonic field in the nano-femtosecond scale by chirped femtosecond laser pulse[J]. Optical Materials Express, 2021, 11(9): 2817-2827.

[4]  Gaseous pre-lattice assisted supercontinuum enhancement of femtosecond laser filamentation[J]. Physics of Plasmas, 2021, 28(7): 072303.

[5]  Manipulation of femtosecond laser multi-filament array by spatiotemporal phase modulation[J]. Optics Communications, 2021, 495: 127113.

[6]  Polarization manipulated femtosecond localized surface plasmon dephasing time in an individual bowtie structure[J]. Optics express, 2020, 28(7): 9310-9319.

[7]  Distinct spatiotemporal imaging of femtosecond surface plasmon polaritons assisted with the opening of the two-color quantum pathway effect[J]. Optics Express, 2020, 28(13): 19023-19033.

[8]  Spatial- and energy-resolved photoemissionelectron from plasmonic nanoparticles in multiphoton regime[J]. Optics Express, 2019, 27(5), 6878:1-14.

[9]  Characterization of ultrafast plasmon dynamics in individual gold bowtie by time-resolved photoemission electron microscopy [J]. Applied Physics B, 2019, 125,3:1-8

[10] Ultrafast switching of photoemission electron through quantumpathways interference in metallic nanostructure[J]. Optics Letters, 2018, 43(23):5721-5724.

[11] Two-color multiphoton emission for comprehensive reveal ofultrafast plasmonic field distribution[J]. New Journal of Physics, 2018, 20(7), 073031:1-10.

[12]  Disclosing dark mode of femtosecond plasmon withphotoemission electron microscopy[J]. Journal of Physics D: Applied Physics. 2017, 50:415309:1-7.

课程教学

1.本科生课程 《光电子技术基础》、《红外探测器》、《专业英语》；

2.研究生课程《半导体器件物理》、《激光与光电子器件》、《集成电路发展前沿》、《芯片工艺制造生产实习》、《芯片制造设备认识实习》。

代表性专利

1.宋晓伟、窦银萍、林景全、孙雪，一种采用飞秒激光加工多种纳米图案的方法，国家发明专利，授权号 CN111001939B

2.宋晓伟、陶海岩、林景全、王硕，一种利用TiO2粒子阵列辅助飞秒激光超衍射极限加工的方法，国家发明专利，授权号 CN107199403B

3.匡尚奇、林景全、宋晓伟，光学薄膜高维多目标优化设计方法，国家发明专利，授权号 CN111723528B

获得奖项

1.飞秒激光等离子体丝的应用基础研究 吉林省科学技术进步奖二等奖 2018年 (5/7）

2. 激光诱导击穿光谱技术及其应用基础研究 吉林省科学技术进步奖三等奖 2020年（4/5）

课题教学

主讲本科生课程 《光电子技术基础》、《红外物理》《红外探测器》、《专业英语》

主讲硕士研究生课程研究生课程《半导体器件物理》、《激光与光电子器件》、《集成电路发展前沿》、《芯片工艺制造生产实习》、《芯片制造设备认识实习》

实验室简介

极紫外光学与超快激光应用实验室团队拥有科研人员16人，其中教授7人。依托吉林省超快与极紫外光学重点实验室及长春市超快激光应用科技创新中心，承担科技部973/国家重点研发计划项目3项、国家基金委重大研究计划项目、重点项目、面上及青年基金等项目25项。获得吉林省科技奖一等奖、二等奖、三等奖各1项。发表SCI论文220余篇，获授权发明专利42项。团队在极紫外光刻光源、极紫外掩模装备及检测、超快激光光源及应用方面具有丰富经验。实验室拥有极紫外多层膜制备及各种超快激光加工及应用装备，具备从事相关领域科研和装备开发的能力，技术成果可应用于高端芯片制造、大型极紫外镀膜系统及极紫外膜层制备、材料精密加工、功能性表面微纳结构制备及激光诱导光谱法元素微含量检测等领域。